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提高反應(yīng)體系的穩(wěn)定性。當(dāng)體系中加入過(guò)氧化氫后有助于提高過(guò)氧化氫的穩(wěn)定性,避免由于過(guò)氧化氫分解而引發(fā)的,提高生產(chǎn)的安全性。具體實(shí)施方式下面結(jié)合實(shí)施例,對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例用于更加清楚地說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案,而不能以此來(lái)限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。一種酸性銅蝕刻液的生產(chǎn)工藝,所述工藝包括以下步驟:第一步:將純水進(jìn)行低溫處理,使純水溫度≤10℃在純水罐中備用;純水罐中設(shè)有通過(guò)電路控制的電磁閥,當(dāng)純水溫度高于10℃時(shí),電磁閥無(wú)法打開(kāi)。第二步:配制和準(zhǔn)備原料,將亞氨基二乙酸、氫氟酸和乙醇酸分別投入對(duì)應(yīng)的原料罐中,經(jīng)過(guò)過(guò)濾器循環(huán)過(guò)濾,備用;將hno3、四甲基氫氧化銨、h2o2分別投入對(duì)應(yīng)的原料罐,備用。亞氨基二乙酸、氫氟酸和乙醇酸需要稀釋后使用,hno3、四甲基氫氧化銨、h2o2無(wú)需調(diào)配可直接用于制備蝕刻液。第三步:根據(jù)混酸配制表算出各個(gè)原料的添加量,按照純水→亞氨基二乙酸→氫氟酸→hno3→四甲基氫氧化銨→乙醇酸的順序依次將原料加入調(diào)配罐,將上述混料充分?jǐn)嚢?,攪拌時(shí)間為3~5h。第四步:在第三步的混料中再添加h2o2,繼續(xù)攪拌混勻,攪拌時(shí)間為3~5h,用磁力泵將混合液通過(guò)過(guò)濾器循環(huán)過(guò)濾。哪家的蝕刻液的價(jià)格低?上海BOE蝕刻液蝕刻液供應(yīng)

本實(shí)用新型涉及資源回收再利用領(lǐng)域,特別是涉及含銅蝕刻液氣液分離裝置。背景技術(shù):線路板生產(chǎn)工業(yè)中,會(huì)對(duì)已經(jīng)使用于蝕刻線路板的含銅蝕刻廢液進(jìn)行回收利用,在回收過(guò)程中,廢液在加熱器中通過(guò)蒸汽進(jìn)行換熱,換熱完的廢液在高溫狀態(tài)下進(jìn)入分離器,會(huì)在分離器中發(fā)生閃蒸,閃蒸產(chǎn)生的二次蒸汽中,攜帶有大小不等的液滴,現(xiàn)有技術(shù)因缺乏有效的分離氣液的手段,含有銅的液體隨著蒸汽被排走,導(dǎo)致了產(chǎn)品發(fā)生損失。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:基于此,有必要針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)氣液分離率低的問(wèn)題,提供一種含銅蝕刻液氣液分離裝置。一種含銅蝕刻液氣液分離裝置,包括分離器及加熱器,所述分離器設(shè)有液體入口、蒸汽出口及濾液出口,所述液體入口用于將加熱器產(chǎn)生的液體輸入至分離器中,所述液體入口處設(shè)有減壓閥,所述蒸汽出口處設(shè)有真空泵、除霧組件及除沫組件,所述除霧組件用于過(guò)濾分離器中閃蒸的蒸汽中的含銅液體,所述除沫組件用于將經(jīng)除霧組件除霧的氣體進(jìn)行除沫。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述除霧組件為設(shè)有多個(gè)平行且曲折的通道的折流板。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述除沫組件為絲網(wǎng)。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述分離器設(shè)有液位計(jì)、液位開(kāi)關(guān)、液相氣相溫度傳感器和壓力傳感器。在其中一個(gè)實(shí)施例中。深圳江化微的蝕刻液蝕刻液什么價(jià)格蝕刻液,適用于多種材料,蝕刻效果好。

etchingamount)的相互關(guān)系的圖表。具體實(shí)施方式本發(fā)明人確認(rèn)了用于氮化物膜去除工序用蝕刻液組合物的具有防蝕能力的添加劑在滿足特定參數(shù)值時(shí)能夠使在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性去除氮化物膜且不損傷氧化物膜的效果極大化,從而完成了本發(fā)明。本發(fā)明包括選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*將氮化物膜選擇性去除的能力優(yōu)異的添加劑的方法、由此選擇的添加劑、包含上述添加劑的蝕刻液組合物以及利用上述蝕刻液組合物的蝕刻方法。本發(fā)明中,蝕刻對(duì)象膜可以為氮化物膜,保護(hù)對(duì)象膜可以為氧化物膜。此外,本發(fā)明的上述添加劑可以為硅烷(silane)系偶聯(lián)劑。<蝕刻液組合物>具體而言,本發(fā)明可以包含磷酸、添加劑和水,上述添加劑可以為硅烷(silane)系偶聯(lián)劑。本發(fā)明的上述添加劑的特征在于,使上述添加劑的反應(yīng)位點(diǎn)(activesite)的數(shù)量除以上述添加劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以(參照以下數(shù)學(xué)式)滿足。本發(fā)明中,各添加劑的反應(yīng)位點(diǎn)(activesite)的數(shù)量和添加劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量的例子示于表3中。此外,由此計(jì)算的各添加劑的aeff值和與此有關(guān)的蝕刻程度的例示示于表2中。參照上述結(jié)果,可以確認(rèn)到上述添加劑的aeff值推薦滿足。
本發(fā)明涉及回收處理技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置。背景技術(shù):廢銅蝕刻液含有可回收的金屬,所以需要進(jìn)行回收處理,目前通用的做法是,使用化學(xué)方法回收廢液內(nèi)的銅,或提煉成硫酸銅產(chǎn)品,工藝落后,銅回收不徹底,處理的經(jīng)濟(jì)效益不明顯,有二次污染污染物排放,一旦處理不當(dāng)往外排放,勢(shì)必對(duì)水體生態(tài)系統(tǒng)造成大的沖擊。市場(chǎng)上的廢銅蝕刻液的回收處理裝置只能簡(jiǎn)單的對(duì)蝕刻液進(jìn)行回收處理,不能對(duì)蝕刻液進(jìn)行循環(huán)電解,使得剩余蝕刻液中的銅離子轉(zhuǎn)化不充分,而且蝕刻液導(dǎo)入到電解池中會(huì)對(duì)電解池造成沖擊,進(jìn)而影響電解池的使用壽命,并且在回收處理中會(huì)產(chǎn)生有害氣體而影響空氣環(huán)境,也不能在回收結(jié)束后對(duì)裝置內(nèi)部進(jìn)行清理,為此,我們提出一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,以解決上述背景技術(shù)中提出的市場(chǎng)上的廢銅蝕刻液的回收處理裝置只能簡(jiǎn)單的對(duì)蝕刻液進(jìn)行回收處理,不能對(duì)蝕刻液進(jìn)行循環(huán)電解,使得剩余蝕刻液中的銅離子轉(zhuǎn)化不充分,而且蝕刻液導(dǎo)入到電解池中會(huì)對(duì)電解池造成沖擊,進(jìn)而影響電解池的使用壽命,并且在回收處理中會(huì)產(chǎn)生有害氣體而影響空氣環(huán)境。什么樣的蝕刻液可以蝕刻鋁同時(shí)保護(hù)銅?

12、伸縮桿;13、圓環(huán)塊;14、連接桿;15、回流管;16、增壓泵;17、一號(hào)排液管;18、一號(hào)電磁閥;19、抽氣泵;20、排氣管;21、集氣箱;22、二號(hào)排液管;23、二號(hào)電磁閥;24、傾斜板;25、活動(dòng)板;26、蓄水箱;27、進(jìn)水管;28、抽水管;29、三號(hào)電磁閥;30、控制面板。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。請(qǐng)參閱圖1-5,本發(fā)明提供一種技術(shù)方案:一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,包括裝置主體1,裝置主體1內(nèi)部中間位置固定安裝有分隔板2,分隔板2左端表面靠近中間位置固定安裝有承載板3,承載板3上端表面放置有電解池4,電解池4內(nèi)部中間位置設(shè)置有隔膜5,裝置主體1上端表面靠近右側(cè)安裝有進(jìn)液漏斗6,進(jìn)液漏斗6上設(shè)置有過(guò)濾網(wǎng)7,裝置主體1內(nèi)部靠近頂端設(shè)置有進(jìn)液管8,進(jìn)液管8左端連接有伸縮管9,伸縮管9下端安裝有噴頭10,裝置主體1上端表面靠近左側(cè)固定安裝有液壓缸11,液壓缸11下端安裝有伸縮桿12?!覆┭蠡瘜W(xué)」專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)蝕刻液廠家,提供一站式服務(wù)蝕刻液歡迎咨詢(xún).四川銀蝕刻液蝕刻液廠家現(xiàn)貨
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負(fù)的值表示厚度減小。上述蝕刻液組合物以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征,上述氧化物膜推薦包含sio2,上述氮化物膜推薦包含sin。上述蝕刻液組合物用于3dnand閃存制造工序,能夠使上述氮化物膜去除工序中發(fā)生的副反應(yīng)氧化物的殘留和氧化物膜損傷不良問(wèn)題**少化。本發(fā)明的蝕刻液組合物包含如上選擇的添加劑,在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜時(shí),能夠使因副反應(yīng)氧化物的殘留時(shí)間變長(zhǎng)而氮化物膜未被完全去除的不良(參照?qǐng)D2)以及氮化物膜雖被完全去除但也造成氧化物膜損傷(damage)的工序不良(參照?qǐng)D3)的發(fā)生**少化。因副反應(yīng)氧化物的殘留時(shí)間變長(zhǎng)而氮化物膜未被完全去除的不良在添加劑的防蝕能力強(qiáng)于適宜水平時(shí)發(fā)生,氧化物膜不良在添加劑的防蝕能力弱于適宜水平時(shí)發(fā)生。以下,對(duì)于本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的磷酸、作為添加劑的硅烷(silane)系偶聯(lián)劑以及進(jìn)行更詳細(xì)的說(shuō)明。(a)磷酸本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的上述磷酸(phosphoricacid)作為主氧化劑可以在使氮化物膜氧化時(shí)使用。相對(duì)于組合物總重量,上述磷酸的含量為50~95重量%,推薦為80~90重量%。在上述磷酸的含量處于上述含量范圍內(nèi)的情況下。上海BOE蝕刻液蝕刻液供應(yīng)