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銅蝕刻液適用于印制版銅的蝕刻,蝕刻速度快。蝕刻速度達(dá)4~5um/min。廢液回收簡單,用于印制板,線路板。本劑也可用于銅工藝品等的蝕刻。蝕刻后的板面平整而光亮。銅蝕刻液的反應(yīng)速度快、使用溫度低、溶液使用壽命長,后處理容易,對環(huán)境污染小。用于銅質(zhì)單面板,雙面板、首飾蝕刻,可以蝕刻出任意精美的形態(tài),有效提高蝕刻速度,節(jié)約人工水電。常常應(yīng)用于印刷線路板銅的蝕刻處理1、蝕刻速度快,效率高。使用方便。蝕刻速度可達(dá)10微米/分鐘。2、可循環(huán)使用,無廢液排放。1、藍(lán)色透明液體,有氣味。2、比重:1.10~1.13。3、PH值:10~11.0。1、采用浸泡的方法即可,浸泡過程中要攪動蝕刻液或移動工件。蝕刻溫度為20~40℃,在通風(fēng)排氣處操作,操作時要蓋好蓋子。2、蝕刻時間可以根據(jù)蝕刻的深度確定。高效蝕刻液,讓您的生產(chǎn)更順暢,品質(zhì)更出眾。合肥市面上哪家蝕刻液批量定制

所述裝置主體前端表面靠近左上邊角位置設(shè)置有活動板,所述分隔板右端放置有蓄水箱,所述蓄水箱上端靠近右側(cè)連接有進(jìn)水管,所述回流管下端連接有抽水管,所述抽水管內(nèi)部上端設(shè)置有三號電磁閥,所述裝置主體前端表面靠近右側(cè)安裝有控制面板。作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案,所述分隔板與承載板相互垂直設(shè)置,所述電解池內(nèi)部底端的傾斜角度設(shè)計為5°。作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案,所述進(jìn)液管的形狀設(shè)計為l型,且進(jìn)液管貫穿分隔板設(shè)置在進(jìn)液漏斗與伸縮管之間。作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案,所述圓環(huán)塊通過伸縮桿活動安裝在噴頭上方,且噴頭通過伸縮管活動安裝在電解池上方。作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案,所述回流管與進(jìn)水管的形狀均設(shè)計為l型,所述傾斜板的傾斜角度設(shè)計為10°。作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案,所述活動板前端設(shè)置有握把,活動板與裝置主體之間設(shè)置有鉸鏈,且活動板通過鉸鏈活動安裝在裝置主體前端。作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案,所述控制面板的輸出端分別與增壓泵、一號電磁閥、二號電磁閥和三號電磁閥的輸入端呈電性連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果是:該回收處理裝置通過在增壓泵下端設(shè)置有回流管,能夠在蝕刻液電解后,啟動增壓泵并打開一號電磁閥。成都江化微的蝕刻液蝕刻液批量定制剝離液可以有正膠和負(fù)膠以及正負(fù)膠不同的分類。

負(fù)的值表示厚度減小。上述蝕刻液組合物以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征,上述氧化物膜推薦包含sio2,上述氮化物膜推薦包含sin。上述蝕刻液組合物用于3dnand閃存制造工序,能夠使上述氮化物膜去除工序中發(fā)生的副反應(yīng)氧化物的殘留和氧化物膜損傷不良問題**少化。本發(fā)明的蝕刻液組合物包含如上選擇的添加劑,在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜時,能夠使因副反應(yīng)氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良(參照圖2)以及氮化物膜雖被完全去除但也造成氧化物膜損傷(damage)的工序不良(參照圖3)的發(fā)生**少化。因副反應(yīng)氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良在添加劑的防蝕能力強(qiáng)于適宜水平時發(fā)生,氧化物膜不良在添加劑的防蝕能力弱于適宜水平時發(fā)生。以下,對于本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的磷酸、作為添加劑的硅烷(silane)系偶聯(lián)劑以及進(jìn)行更詳細(xì)的說明。(a)磷酸本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的上述磷酸(phosphoricacid)作為主氧化劑可以在使氮化物膜氧化時使用。相對于組合物總重量,上述磷酸的含量為50~95重量%,推薦為80~90重量%。在上述磷酸的含量處于上述含量范圍內(nèi)的情況下。
因此存在開發(fā)蝕刻液組合物時會過度耗費(fèi)時間和費(fèi)用的問題。美國公開**第2號公開了在3dnand閃存的制造工序中,對于硅氧化物膜和硅氮化物膜*選擇性蝕刻硅氮化物膜的蝕刻液組合物。然而,為了選擇構(gòu)成成分的種類和濃度,不得不需要測試蝕刻液組合物的蝕刻性能,實(shí)際情況是,與上述同樣,仍然沒有解決在找尋蝕刻液組合物的適宜組成方面過度耗費(fèi)時間和費(fèi)用的問題?,F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)**文獻(xiàn)**文獻(xiàn)1:美國公開**第2號技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:所要解決的課題本發(fā)明是為了改善上述以往技術(shù)問題的發(fā)明,其目的在于,提供用于選擇硅烷系偶聯(lián)劑的參數(shù)以及包含由此獲得的硅烷系偶聯(lián)劑的蝕刻液組合物,所述硅烷系偶聯(lián)劑作為添加劑即使不進(jìn)行另外的實(shí)驗(yàn)確認(rèn)也具有在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力。此外,本發(fā)明的目的在于,提供一種以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中能夠*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征的蝕刻液組合物。此外,本發(fā)明的目的在于,提供利用上述蝕刻液組合物的蝕刻方法。此外,本發(fā)明的目的在于,提供選擇上述蝕刻液組合物所包含的硅烷系偶聯(lián)劑的方法。解決課題的方法為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供一種蝕刻液組合物,其特征在于,包含磷酸、硅烷。使用蝕刻液需要什么條件。

提高反應(yīng)體系的穩(wěn)定性。當(dāng)體系中加入過氧化氫后有助于提高過氧化氫的穩(wěn)定性,避免由于過氧化氫分解而引發(fā)的,提高生產(chǎn)的安全性。具體實(shí)施方式下面結(jié)合實(shí)施例,對本發(fā)明的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例用于更加清楚地說明本發(fā)明的技術(shù)方案,而不能以此來限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。一種酸性銅蝕刻液的生產(chǎn)工藝,所述工藝包括以下步驟:第一步:將純水進(jìn)行低溫處理,使純水溫度≤10℃在純水罐中備用;純水罐中設(shè)有通過電路控制的電磁閥,當(dāng)純水溫度高于10℃時,電磁閥無法打開。第二步:配制和準(zhǔn)備原料,將亞氨基二乙酸、氫氟酸和乙醇酸分別投入對應(yīng)的原料罐中,經(jīng)過過濾器循環(huán)過濾,備用;將hno3、四甲基氫氧化銨、h2o2分別投入對應(yīng)的原料罐,備用。亞氨基二乙酸、氫氟酸和乙醇酸需要稀釋后使用,hno3、四甲基氫氧化銨、h2o2無需調(diào)配可直接用于制備蝕刻液。第三步:根據(jù)混酸配制表算出各個原料的添加量,按照純水→亞氨基二乙酸→氫氟酸→hno3→四甲基氫氧化銨→乙醇酸的順序依次將原料加入調(diào)配罐,將上述混料充分?jǐn)嚢?,攪拌時間為3~5h。第四步:在第三步的混料中再添加h2o2,繼續(xù)攪拌混勻,攪拌時間為3~5h,用磁力泵將混合液通過過濾器循環(huán)過濾。封裝測試會用到哪些蝕刻液藥水;銅鈦蝕刻液蝕刻液銷售價格
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推薦的,所述制備裝置主體的兩端緊密貼合有防燙隔膜。推薦的,所述高效攪拌裝置是由內(nèi)部頂部中間部位的旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤,內(nèi)部頂部兩側(cè)的震蕩彈簧件,震蕩彈簧件頂端的運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組,運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組頂端的控制面板,內(nèi)部中間部位的致密防腐桿和致密防腐桿內(nèi)部內(nèi)側(cè)的攪動孔共同組合而成。推薦的,所述注入量精確調(diào)配裝置是由鹽酸裝罐內(nèi)部一側(cè)的嵌入引流口,嵌入引流口一端的負(fù)壓引流器,負(fù)壓引流器一端的注入量控制容器,注入量控制容器內(nèi)部內(nèi)側(cè)的注入量觀察刻度線和注入量控制容器一側(cè)的限流銷共同組合而成。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本種實(shí)用新型的有益效果是:1.通過設(shè)置高效攪拌裝置,該裝置通過運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組驅(qū)動旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤,使旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤帶動高效攪拌裝置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)搖勻,高效攪拌裝置內(nèi)部的蝕刻液通過內(nèi)置的致密防腐桿,致密防腐桿內(nèi)部的攪動孔能夠使蝕刻液不斷細(xì)化均勻化,從而很好的防止了蝕刻液的腐蝕,且成本低廉,攪拌均勻效果較好。2.通過設(shè)置高效攪拌裝置,通過設(shè)置注入量精確調(diào)配裝置,工作人員通過負(fù)壓引流器將鹽酸硝酸引向注入量控制容器內(nèi),通過觀察注入量控制容器內(nèi)的注入量觀察刻度線對注入量進(jìn)行精確控制,當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定的注入量時將限流銷插入進(jìn)行限流即可。合肥市面上哪家蝕刻液批量定制