廣東華芯半導體技術有限公司2025-10-17

長期不用需做好五點：一是排空熱媒液，清潔熱媒槽后密封，防止雜質(zhì)進入；二是更換真空泵油，運行 10 分鐘后排空，避免油質(zhì)變壞；三是關閉總電源，拔掉插頭，用防塵布覆蓋設備；四是每月通電一次，啟動加熱系統(tǒng)至 100℃，運行 30 分鐘，防止部件受潮；五是檢查管道密封圈，涂抹特定潤滑脂，防止老化。下次使用前需測試真空度與溫控，確保正常。廣東華芯半導體技術有限公司可提供長期閑置設備保養(yǎng)方案。

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