8/12 英寸中批量晶圓生產(chǎn)(如小型 IC 企業(yè)的 500-1000 片 / 批訂單),既需要一定效率,又無需全自動(dòng)設(shè)備的大規(guī)模產(chǎn)能,半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)可實(shí)現(xiàn) “效率與成本的平衡”。設(shè)備每小時(shí)可處理 18-22 片 8 英寸晶圓、12-15 片 12 英寸晶圓,滿足中批量生產(chǎn)需求;操作中,人工上料與設(shè)備貼膜可同步進(jìn)行,員工在設(shè)備處理當(dāng)前晶圓時(shí),即可準(zhǔn)備下一片晶環(huán),減少等待時(shí)間。針對(duì) 12 英寸大尺寸晶圓,設(shè)備配備輔助支撐裝置,人工放置時(shí)可避免晶環(huán)因自重彎曲;貼膜后,半自動(dòng)脫膠系統(tǒng)可批量處理,員工只需將貼膜后的晶圓放入脫膠區(qū),啟動(dòng)紫外線照射即可,無需逐片操作,在保證效率的同時(shí),避免全自動(dòng)設(shè)備的產(chǎn)能浪費(fèi)。藍(lán)膜穩(wěn)定貼附 + UV 膜脫膠,鴻遠(yuǎn)輝半自動(dòng)設(shè)備滿足多場景需求。東莞8寸晶圓貼膜機(jī)滾軸設(shè)計(jì)

中小型半導(dǎo)體企業(yè)資金有限,若為不同尺寸晶環(huán)、不同膜類型分別采購貼膜設(shè)備,會(huì)增加前期投入與后期維護(hù)成本。這款晶圓貼膜機(jī)以 “一機(jī)頂多機(jī)” 的優(yōu)勢(shì),適用6-12 英寸全規(guī)格晶環(huán),支持 UV 膜與藍(lán)膜兩種主流膜類型,企業(yè)無需為小尺寸研發(fā)、大尺寸量產(chǎn)分別購機(jī),也無需為不同保護(hù)工藝單獨(dú)配置設(shè)備,需一臺(tái)即可滿足多場景需求。從長期使用來看,設(shè)備維護(hù)成本低,易損件通用性強(qiáng),更換時(shí)無需區(qū)分不同機(jī)型,進(jìn)一步減少企業(yè)的運(yùn)維支出,幫助中小企業(yè)在控制成本的同時(shí),提升生產(chǎn)競爭力。江門桌面臺(tái)式晶圓貼膜機(jī)鴻遠(yuǎn)輝生產(chǎn)廠家針對(duì) 8-12Inch 大尺寸晶環(huán),設(shè)備可精確控制膜材張力,避免邊緣起翹,確保全版面均勻貼附,保障貼附穩(wěn)定性。

半導(dǎo)體行業(yè)涵蓋光學(xué)鏡頭、LED、IC、移動(dòng)硬盤、集成電路板等多個(gè)領(lǐng)域,不同領(lǐng)域的晶圓保護(hù)需求差異大,若企業(yè)生產(chǎn)多領(lǐng)域產(chǎn)品,需多臺(tái)不同設(shè)備。這款晶圓貼膜機(jī)以 “全領(lǐng)域適配” 的優(yōu)勢(shì),適用6-12 英寸晶環(huán)(覆蓋各領(lǐng)域常用尺寸),支持 UV 膜與藍(lán)膜(覆蓋各領(lǐng)域主流保護(hù)工藝),無論企業(yè)生產(chǎn)光學(xué)鏡頭基片、LED 外延片、IC 芯片晶圓,還是移動(dòng)硬盤存儲(chǔ)晶圓、集成電路板芯片基片,設(shè)備都能精細(xì)適配,一臺(tái)設(shè)備即可滿足多領(lǐng)域生產(chǎn)需求,減少設(shè)備投入,提升企業(yè)的多領(lǐng)域生產(chǎn)競爭力
LED 外延片加工常需在溫和高溫環(huán)境下進(jìn)行,傳統(tǒng)保護(hù)膜易因耐溫性不足出現(xiàn)脫落或變形,影響外延層質(zhì)量。這款晶圓貼膜機(jī)支持的藍(lán)膜,具備優(yōu)異的耐溫性能,能承受 LED 外延片加工過程中的溫度變化,始終緊密貼合晶圓表面,避免外延層因膜層脫落暴露而受損。設(shè)備適用6-12 英寸晶環(huán),6 英寸適配小功率 LED 外延片,8 英寸、12 英寸適配大功率外延片,滿足不同 LED 產(chǎn)品的加工需求。其 600×1000×350mm 的尺寸,可靈活放置在 LED 外延片加工車間,設(shè)備與高溫工序的銜接順暢,無需額外調(diào)整空間,幫助企業(yè)減少因膜層問題導(dǎo)致的外延片損耗。鴻遠(yuǎn)輝半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī),適配 3-12 英寸晶環(huán),兼容 UV 膜與藍(lán)膜實(shí)用靠譜。

隨著半導(dǎo)體國產(chǎn)化進(jìn)程加快,國內(nèi)企業(yè)對(duì)適配本土生產(chǎn)需求的設(shè)備需求增長,進(jìn)口設(shè)備常存在 “尺寸適配不符合國內(nèi)主流”“售后服務(wù)響應(yīng)慢” 的問題。這款晶圓貼膜機(jī)針對(duì)國內(nèi)企業(yè)需求設(shè)計(jì),適用6-12 英寸晶環(huán)(國內(nèi)企業(yè)常用規(guī)格),支持 UV 膜與藍(lán)膜(國內(nèi)主流保護(hù)工藝),同時(shí)廠家在國內(nèi)設(shè)有多個(gè)服務(wù)網(wǎng)點(diǎn),售后服務(wù)響應(yīng)快。設(shè)備的操作界面與文檔均為中文,符合國內(nèi)員工的使用習(xí)慣,幫助國內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)實(shí)現(xiàn)設(shè)備國產(chǎn)化替代,減少對(duì)進(jìn)口設(shè)備的依賴。部件易拆卸、易更換,后期維護(hù)流程簡單,維護(hù)成本低,減少設(shè)備停機(jī)檢修時(shí)間。肇慶晶圓貼膜機(jī)鴻遠(yuǎn)輝生產(chǎn)廠家
鴻遠(yuǎn)輝半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī),藍(lán)膜 / UV 膜均可使用,適配多行業(yè)需求。東莞8寸晶圓貼膜機(jī)滾軸設(shè)計(jì)
移動(dòng)硬盤晶圓在暫存階段需防潮、防氧化,藍(lán)膜是常用保護(hù)方案,半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)的藍(lán)膜貼合工藝能滿足這一需求。設(shè)備針對(duì)移動(dòng)硬盤晶圓(多為 3/6 英寸),支持手動(dòng)調(diào)整貼膜溫度,藍(lán)膜在 40-50℃下貼合能提升防潮性能,員工通過設(shè)備上的溫度旋鈕即可精細(xì)控制;同時(shí),貼膜壓力可手動(dòng)微調(diào),針對(duì)硬盤晶圓表面的電路紋理,采用低壓力避免損傷,確保貼合后藍(lán)膜無氣泡、無褶皺。半自動(dòng)流程中,人工可檢查每片晶圓的貼膜質(zhì)量,如發(fā)現(xiàn)藍(lán)膜邊緣翹起,可手動(dòng)按壓修復(fù),避免暫存過程中潮氣侵入;設(shè)備體積小巧,可直接放置在暫存區(qū)旁,實(shí)現(xiàn) “生產(chǎn) - 貼膜 - 暫存” 的無縫銜接,減少晶圓搬運(yùn)中的二次污染。東莞8寸晶圓貼膜機(jī)滾軸設(shè)計(jì)