真空計(jì)是用于測(cè)量真空度的設(shè)備，其工作原理及測(cè)量范圍對(duì)于了解真空技術(shù)至關(guān)重要。在真空鍍膜機(jī)的腔體內(nèi)，真空測(cè)量是指利用專(zhuān)門(mén)的儀器和裝置來(lái)測(cè)定某一封閉空間內(nèi)的真空度。這些儀器或裝置被稱(chēng)為真空計(jì)（或規(guī)管），種類(lèi)繁多，常見(jiàn)的分類(lèi)方式是根據(jù)其測(cè)量原理。直接通過(guò)測(cè)定物理參數(shù)來(lái)獲取氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)被稱(chēng)為***真空計(jì)，例如U型壓力計(jì)和壓縮式真空計(jì)。***真空計(jì)測(cè)量氣體壓強(qiáng)較為準(zhǔn)確，不受氣體成分影響。而相對(duì)真空計(jì)則通過(guò)測(cè)量與壓強(qiáng)相關(guān)的物理量，再與***真空計(jì)對(duì)比來(lái)得出壓強(qiáng)值，例如放電真空計(jì)、熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)。相對(duì)真空計(jì)的測(cè)量準(zhǔn)確度略遜于***真空計(jì)，且測(cè)量結(jié)果與氣體種類(lèi)相關(guān)。在實(shí)際生產(chǎn)中，除了真空校準(zhǔn)外，相對(duì)真空計(jì)的應(yīng)用更為***。 由于各種真空計(jì)在原理上的差異.在相互銜接的區(qū)域，往往要造成較大的誤差。哪些真空計(jì)配件

 《標(biāo)準(zhǔn)肖氏硬度計(jì)檢定規(guī)程》征求意見(jiàn)稿發(fā)布   金屬肖氏硬度計(jì)（以下簡(jiǎn)稱(chēng)硬度計(jì)）是測(cè)量金屬材料的肖氏硬度的工作計(jì)量器具。由測(cè)量指示裝置、沖頭鎖緊機(jī)構(gòu)、試臺(tái)、沖頭組件和附件組成。9月10日，全國(guó)力值硬度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)發(fā)布了《標(biāo)準(zhǔn)肖氏硬度計(jì)檢定規(guī)程》征求意見(jiàn)稿，并面向全國(guó)的并面向全國(guó)的計(jì)量技術(shù)機(jī)構(gòu)、科研院所以及相關(guān)的行業(yè)企業(yè)征求意見(jiàn)。本規(guī)程適用于金屬肖氏真空計(jì)硬度計(jì)的***檢定、后續(xù)檢定和使用中檢查。怎樣真空計(jì)優(yōu)化價(jià)格為改善真空計(jì)性能及提高真空測(cè)量準(zhǔn)確度，必須突出主要現(xiàn)象。表1給出一些真空計(jì)的壓力測(cè)量范圍。

不同類(lèi)型真空計(jì)（如皮拉尼、電離、冷陰極）的**區(qū)別在于其測(cè)量原理基于的物理效應(yīng)不同，這些效應(yīng)決定了它們的適用范圍、精度、響應(yīng)速度及對(duì)氣體種類(lèi)的敏感性。以下是具體分析：1.皮拉尼真空計(jì)（PiraniGauge）原理：基于熱傳導(dǎo)效應(yīng)。傳感器為金屬絲（如鎢或鉑），通電后發(fā)熱。氣體分子密度（即真空度）影響熱傳導(dǎo)效率：高真空時(shí)，氣體分子少，熱傳導(dǎo)主要依賴(lài)殘余氣體，金屬絲溫度較高，電阻增大。低真空時(shí)，氣體分子多，熱傳導(dǎo)增強(qiáng)，金屬絲溫度降低，電阻減小。通過(guò)測(cè)量金屬絲電阻變化推算真空度。特點(diǎn)：量程：通常為10

一、真空計(jì)分類(lèi)真空計(jì)主要可分為兩大類(lèi)，***真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)，這兩者的主要區(qū)別在于其測(cè)量真空度的方式不同。1.***真空計(jì)***真空計(jì)可以直接測(cè)量氣體的***壓力。其典型的例子是U形管真空計(jì)，通過(guò)**或油的液面差來(lái)直接反映氣體的壓力。這種真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是測(cè)量精度高，但通常結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，且需要對(duì)測(cè)量環(huán)境進(jìn)行溫度修正。2.相對(duì)真空計(jì)相對(duì)真空計(jì)則是通過(guò)間接的方法來(lái)反映真空度，其顯示的讀數(shù)通常與某種已知?dú)怏w的壓力相關(guān)聯(lián)。相對(duì)真空計(jì)通常更為便捷，適用于現(xiàn)場(chǎng)快速檢測(cè)或連續(xù)監(jiān)測(cè)。下面將詳細(xì)介紹幾種常見(jiàn)的相對(duì)真空計(jì)。真空計(jì)(Vacuum gauge)是測(cè)量低于一個(gè)大氣壓力的氣體或蒸氣壓力的儀器。

工作原理播報(bào)編輯兩種真空計(jì)在不同壓強(qiáng)區(qū)間發(fā)揮測(cè)量作用：1.熱偶真空計(jì)加熱電流恒定狀態(tài)下，熱電偶電勢(shì)與氣體熱傳導(dǎo)系數(shù)呈正相關(guān)。當(dāng)壓強(qiáng)低于10Pa時(shí)氣體導(dǎo)熱系數(shù)隨壓強(qiáng)降低而減小，通過(guò)熱電偶輸出電勢(shì)變化反映真空度。有效測(cè)量范圍為100-0.1Pa [4]。2.熱陰極電離真空計(jì)燈絲加熱至2200K發(fā)射熱電子，經(jīng)150V柵極電壓加速后與氣體分子碰撞產(chǎn)生正離子。收集極在-25V偏壓下捕獲離子形成電流，該電流與氣體壓強(qiáng)成線性關(guān)系 [4]。典型工作范圍為0.1-1×10??Pa。設(shè)備通過(guò)動(dòng)態(tài)切換機(jī)制實(shí)現(xiàn)量程銜接：當(dāng)熱偶計(jì)檢測(cè)到壓強(qiáng)低于10?1Pa時(shí)，自動(dòng)開(kāi)啟電離計(jì) [1] [4]。ZDF-1A/B型具備1-99分鐘可調(diào)延時(shí)切換功能，防止頻繁啟停損壞燈絲 [1]真空計(jì)利用氣體在低壓力下的熱傳導(dǎo)、電離、粘滯性和應(yīng)變等物理特性與壓力的關(guān)系間接測(cè)量氣體壓力。擴(kuò)散式真空計(jì)推薦貨源

真空計(jì)測(cè)量范圍壓力測(cè)量中，除極少數(shù)直接測(cè)量外，絕大多數(shù)是間接測(cè)量。哪些真空計(jì)配件

技術(shù)參數(shù)播報(bào)編輯根據(jù)2012年發(fā)布的ZDF-1A/B型說(shuō)明書(shū)，熱偶真空計(jì)、熱陰極電離真空計(jì)及金屬電阻規(guī)三種測(cè)量通道組合構(gòu)成，覆蓋105~10-6Pa的真空范圍測(cè)量，主要技術(shù)指標(biāo)包括 [1]：熱偶規(guī)測(cè)量范圍：3.0×102~1.0×10?1Pa（ZJ-54D型）電離規(guī)測(cè)量范圍：5~1.0×10??Pa（ZJ-27型）或26~1.0×10??Pa（ZJ-10型）發(fā)射電流調(diào)節(jié)范圍：50μA至5mA陽(yáng)極電壓：225V（ZDF-1A型）繼電器觸點(diǎn)容量：220V AC/3A。使用復(fù)合真空計(jì)需遵循特定操作要求 [1]：真空系統(tǒng)放氣前必須切換至熱偶計(jì)或電阻規(guī)通道，防止電離規(guī)管暴露于高壓空氣電離規(guī)燈絲只能在壓強(qiáng)低于1Pa時(shí)啟動(dòng)，避免氧化燒毀定期校準(zhǔn)熱偶規(guī)加熱電流，標(biāo)準(zhǔn)值為95-105mA（具體數(shù)值依據(jù)規(guī)管型號(hào)）安裝時(shí)電離規(guī)管軸線應(yīng)與地面垂直，傾斜角度不得超過(guò)30°哪些真空計(jì)配件