探針臺(tái)是用于檢測(cè)每片晶圓上各個(gè)芯片電信號(hào),保證半導(dǎo)體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測(cè)設(shè)備。因?yàn)槲覀冃枰榔骷嬲男阅?,而不是封裝以后的,雖然可以去嵌,但還是會(huì)引入一些誤差和不確定性。因?yàn)槲覀冃枰_定哪些芯片是好的芯片來(lái)降低封裝的成本并提高產(chǎn)量。因?yàn)橛袝r(shí)我們需要進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)試,在片進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)試成本效益高而且更快。一個(gè)典型的在片測(cè)試系統(tǒng),主要包括:矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀,線纜,探針,探針定位器,探針臺(tái),校準(zhǔn)設(shè)備及軟件,電源偏置等。上海勤確科技有限公司秉承專(zhuān)業(yè)、科技、快捷、準(zhǔn)確、誠(chéng)信的服務(wù)精神。遼寧探針臺(tái)供應(yīng)商

探針臺(tái)工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng),導(dǎo)向部分采用精密直線滾動(dòng)導(dǎo)軌。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件,所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小,使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3℃,濕度≤70%,無(wú)有害氣體的環(huán)境中,滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,但不可過(guò)多,值得指出的是,這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過(guò)程中,從直線導(dǎo)軌的直線性,上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性,定位精度等都是用專(zhuān)業(yè)的儀器儀表調(diào)整,用戶一般情況不能輕易改變,一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來(lái)的狀態(tài),所以對(duì)需要調(diào)整的工作臺(tái)應(yīng)有專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的專(zhuān)業(yè)人員完成。云南直流探針臺(tái)供應(yīng)探針卡焊完后使針尖剛好回到壓點(diǎn)中心,同時(shí)針焊好后應(yīng)檢查針尖的位置,檢查針的牢固性。

“精確度”是探測(cè)儀器基本的指針,涵蓋定位、溫度及生產(chǎn)率等三個(gè)層面。首先,必須能穩(wěn)定、精確地探測(cè)到小型墊片,載臺(tái)系統(tǒng)亦須精確、能直接驅(qū)動(dòng)晶圓托盤(pán),并在晶圓移動(dòng)的過(guò)程中準(zhǔn)確地將晶圓和晶圓對(duì)位;其次,必須具備動(dòng)態(tài)監(jiān)控機(jī)制,確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定性;后,必須對(duì)高產(chǎn)出的進(jìn)階移動(dòng)做動(dòng)態(tài)控制才能擁有佳的終結(jié)果。整體而言,針腳和墊片之間的相應(yīng)精確度應(yīng)在±1.5μm之間。隨著新工藝的微縮,為了強(qiáng)化更小晶粒定位的精確性,需要?jiǎng)討B(tài)的Z軸輔助校正工作,以避免無(wú)謂的產(chǎn)出損失。
射頻測(cè)試探針必須具有與測(cè)試點(diǎn)相匹配的阻抗。通常要做的是在設(shè)計(jì)中各個(gè)預(yù)先計(jì)劃好的測(cè)試點(diǎn)焊接射頻同軸電纜(尾纖)。這有助于確保足夠的阻抗匹配,并且測(cè)試點(diǎn)可以選在對(duì)整體設(shè)計(jì)性能產(chǎn)生較小影響的區(qū)域。其他方法包括將用的射頻探針焊接到自定義焊盤(pán)或者引線設(shè)計(jì)上,從而減少侵入性探測(cè)。高性能測(cè)試設(shè)備供應(yīng)商可以提供高達(dá)毫米波頻率的用探針。但這些探針的末端通常都很昂貴,且無(wú)法持續(xù)訪問(wèn)組成元件的電路。因此,它們?cè)诖笕萘康臏y(cè)試應(yīng)用或者故障排除應(yīng)用中受到限制,更適合于原型設(shè)計(jì)和研發(fā)。探針臺(tái)如果發(fā)現(xiàn)缺陷,產(chǎn)品小組將用測(cè)試數(shù)據(jù)來(lái)確保有缺陷的芯片不會(huì)被送到客戶手里。

手動(dòng)探針臺(tái):普遍應(yīng)用于,科研單位研發(fā)測(cè)試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實(shí)驗(yàn)室芯片失效分析等領(lǐng)域。一般使用于研發(fā)測(cè)試階段,批量不是很大的情況,大批量的重復(fù)測(cè)試推薦使用探卡。主要功能:搭配外接測(cè)試測(cè)半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀、示波器、網(wǎng)分等測(cè)試源表,量測(cè)半導(dǎo)體器件IVCV脈沖/動(dòng)態(tài)IV等參數(shù)。用途:以往如果需要測(cè)試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),測(cè)試人員一般會(huì)采用表筆去點(diǎn)測(cè)。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對(duì)于精密微小(納米級(jí))的微電子器件,表筆點(diǎn)到被測(cè)位置就顯得無(wú)能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,利用高精度微探針將被測(cè)原件的內(nèi)部訊號(hào)引導(dǎo)出來(lái),便于其電性測(cè)試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對(duì)此測(cè)試、分析。主要工作是檢測(cè)芯片設(shè)計(jì)的功能是否能夠達(dá)到芯片的技術(shù)指標(biāo)。云南直流探針臺(tái)供應(yīng)
平面電機(jī)應(yīng)使用在環(huán)境溫度15~25℃,相對(duì)濕度小于50%的環(huán)境中。遼寧探針臺(tái)供應(yīng)商
滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng):由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件,所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小,使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3℃,濕度≤70%,無(wú)有害氣體的環(huán)境中,滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,但不可過(guò)多,值得指出的是,這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過(guò)程中,從直線導(dǎo)軌的直線性,上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性,定位精度等都是用專(zhuān)業(yè)的儀器儀表調(diào)整,用戶一般情況不能輕易改變,一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來(lái)的狀態(tài),所以對(duì)需要調(diào)整的工作臺(tái)應(yīng)有專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的專(zhuān)業(yè)人員完成。遼寧探針臺(tái)供應(yīng)商