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IC 芯片中試階段需在 “保證精度” 與 “控制成本” 間平衡,半自動晶圓貼膜機的精細性與經(jīng)濟性恰好滿足這一需求。中試常用的 6/8 英寸 IC 晶圓,對貼膜殘留要求極高,設備支持的 UV 膜通過半自動脫膠流程,人工輔助定位紫外線照射區(qū)域,確保脫膠無殘留,避免影響芯片電路性能。定位環(huán)節(jié),半自動視覺系統(tǒng)可識別晶圓電路紋理,員工手動微調晶環(huán)位置,使貼膜對齊精度達 ±0.1mm,滿足中試階段的檢測與小批量生產(chǎn)要求。相較于全自動設備,半自動機型省去了自動上料的機械臂模塊,采購成本更低,同時保留精度部件,中試完成后可直接用于后續(xù)小批量量產(chǎn),避免設備閑置浪費,為 IC 企業(yè)降低中試投入風險。鴻遠輝半自動晶圓貼膜機,藍膜 / UV 膜均可使用,適配多行業(yè)需求。廣東6寸晶圓貼膜機簡易上手

高校與小型半導體研發(fā)機構常面臨小批量、多規(guī)格晶圓試產(chǎn)需求,傳統(tǒng)單尺寸貼膜設備難以滿足靈活研發(fā)需求。這款晶圓貼膜機適用晶環(huán)6-12 英寸,6 英寸規(guī)格可支持實驗室定制化晶圓研發(fā),8 英寸、12 英寸規(guī)格能適配中試階段的小批量生產(chǎn),一臺設備覆蓋從研發(fā)到中試的全流程。支持 UV 膜與藍膜切換,UV 膜適合高精度研發(fā)樣品的貼膜,確保后續(xù)檢測數(shù)據(jù)準確;藍膜則可用于研發(fā)晶圓的暫存,避免反復操作損傷。機器 600×1000×350mm 的小巧尺寸,能輕松放置在實驗室工作臺旁,無需占用大量空間,同時設備操作門檻低,研發(fā)人員經(jīng)過簡單指導即可使用,為科研工作提供便捷的晶圓保護解決方案。江西8寸晶圓貼膜機360度切膜光學鏡頭生產(chǎn)適配,鴻遠輝半自動晶圓貼膜機兼容雙類膜材與多規(guī)格晶環(huán)。

藍膜作為常用保護膜,若使用后直接廢棄會增加耗材成本,半自動晶圓貼膜機支持藍膜重復利用,能為企業(yè)節(jié)省開支。針對 6 /8寸小批量晶圓使用的藍膜,若膜層無破損、粘性未明顯下降,員工可手動將藍膜從晶圓上剝離,用無塵布蘸取清潔劑擦拭表面污漬后,重新安裝到設備上二次使用,每片藍膜可重復利用 2-3 次;即使是 8 英寸晶圓使用的藍膜,若邊緣有輕微磨損,員工可手動裁剪破損部分,剩余部分用于小規(guī)格晶圓,避免整體廢棄。設備支持手動調整膜材長度,重復利用的藍膜長度不足時,可手動設定 shorter 貼膜長度,確保膜材充分利用,每批次可節(jié)省 20% 的藍膜用量,長期使用能降低耗材成本。
大型半導體工廠的量產(chǎn)線需要設備長時間連續(xù)運行,若設備穩(wěn)定性差、易出現(xiàn)故障,會導致生產(chǎn)線停機,影響產(chǎn)能。這款晶圓貼膜機經(jīng)過嚴格的連續(xù)運行測試,可實現(xiàn) 24 小時不間斷作業(yè),設備運行時的故障率低于 0.5%/ 月。設備配備故障自動診斷系統(tǒng),出現(xiàn)異常時會及時報警并顯示故障原因,維修人員可快速排查解決,減少停機時間。設備適用6-12 英寸晶環(huán),支持 UV 膜與藍膜切換,在長時間連續(xù)生產(chǎn)中,即使切換不同規(guī)格的晶圓或膜類型,設備也能保持穩(wěn)定運行,保障量產(chǎn)線的產(chǎn)能。藍膜穩(wěn)定貼附 + UV 膜脫膠,鴻遠輝半自動設備滿足多場景需求。

半導體車間員工流動性較大,若貼膜設備操作復雜,新員工培訓周期長,會影響生產(chǎn)進度。鴻遠輝科技這款晶圓貼膜機采用人性化操作界面,功能以圖標化呈現(xiàn),關鍵參數(shù)可一鍵調取,新員工經(jīng)過 1-2 天的培訓即可操作,大幅縮短培訓周期。設備適用 6-12 英寸晶環(huán),更換晶環(huán)時無需復雜的機械調整,需在界面選擇對應規(guī)格;切換 UV 膜與藍膜時,設備會自動調整壓力與溫度參數(shù),無需人工反復調試,降低操作門檻的同時,減少因操作失誤導致的晶圓損傷。針對 3-6 英寸小尺寸晶環(huán),設備貼附定位精確,避免晶環(huán)偏移,確保膜材全覆蓋,滿足小眾規(guī)格加工需求。河南手動晶圓貼膜機滾軸設計
支持批量連續(xù)作業(yè),單次上料后可完成多片晶圓貼附,減少人工干預頻次,助力提升整體生產(chǎn)效率。廣東6寸晶圓貼膜機簡易上手
環(huán)保生產(chǎn)是當前半導體行業(yè)的重要趨勢,半自動晶圓貼膜機在材質選擇與能耗控制上均符合環(huán)保要求。設備機身采用可回收的 304 不銹鋼,廢棄后可循環(huán)利用,避免塑料材質造成的污染;表面涂層采用無 VOCs(揮發(fā)性有機化合物)的環(huán)保涂料,經(jīng)檢測 VOCs 排放量低于國家限值(100g/L),不會污染潔凈車間空氣。針對 UV 膜脫膠,設備采用低功率紫外線燈(100W),脫膠過程無有害氣體揮發(fā),符合國家 VOCs 排放標準;同時,設備能耗低,正常運行時功率 200W,比同規(guī)格全自動設備節(jié)能 40%,長期使用能減少企業(yè)碳排放,幫助企業(yè)實現(xiàn)綠色生產(chǎn)目標,符合客戶對環(huán)保供應鏈的要求。廣東6寸晶圓貼膜機簡易上手