半導(dǎo)體設(shè)備的耐用性決定投資回報(bào)率,半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)在材質(zhì)與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上注重長期使用穩(wěn)定性。機(jī)身框架采用 304 不銹鋼一體成型,承重能力達(dá) 200kg,長期放置晶環(huán)不會(huì)出現(xiàn)變形;貼膜滾輪選用進(jìn)口耐磨硅膠,經(jīng) 5 萬次貼膜測試后,表面磨損量不足 0.1mm,仍能保持均勻壓力;內(nèi)部布線采用耐高溫阻燃線纜,在 40℃的車間環(huán)境下長期使用,不會(huì)出現(xiàn)老化破損。針對半自動(dòng)流程中人工操作可能的碰撞,設(shè)備關(guān)鍵部位(如視覺相機(jī)、膜軸支架)配備防護(hù)擋板,減少意外損傷;同時(shí),設(shè)備經(jīng)過 1000 小時(shí)連續(xù)運(yùn)行測試,無故障運(yùn)行率達(dá) 99.5%,確保長期使用中不會(huì)頻繁停機(jī),為企業(yè)提供穩(wěn)定的生產(chǎn)保障。藍(lán)膜穩(wěn)定貼附 + UV 膜脫膠,鴻遠(yuǎn)輝半自動(dòng)設(shè)備滿足多場景需求。汕尾8寸晶圓貼膜機(jī)360度切膜

移動(dòng)硬盤晶圓在暫存階段需防潮、防氧化,藍(lán)膜是常用保護(hù)方案,半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)的藍(lán)膜貼合工藝能滿足這一需求。設(shè)備針對移動(dòng)硬盤晶圓(多為 3/6 英寸),支持手動(dòng)調(diào)整貼膜溫度,藍(lán)膜在 40-50℃下貼合能提升防潮性能,員工通過設(shè)備上的溫度旋鈕即可精細(xì)控制;同時(shí),貼膜壓力可手動(dòng)微調(diào),針對硬盤晶圓表面的電路紋理,采用低壓力避免損傷,確保貼合后藍(lán)膜無氣泡、無褶皺。半自動(dòng)流程中,人工可檢查每片晶圓的貼膜質(zhì)量,如發(fā)現(xiàn)藍(lán)膜邊緣翹起,可手動(dòng)按壓修復(fù),避免暫存過程中潮氣侵入;設(shè)備體積小巧,可直接放置在暫存區(qū)旁,實(shí)現(xiàn) “生產(chǎn) - 貼膜 - 暫存” 的無縫銜接,減少晶圓搬運(yùn)中的二次污染。河北8寸晶圓貼膜機(jī)標(biāo)準(zhǔn)劃片切膜部件易拆卸、易更換,后期維護(hù)流程簡單,維護(hù)成本低,減少設(shè)備停機(jī)檢修時(shí)間。

藍(lán)膜作為常用保護(hù)膜,若使用后直接廢棄會(huì)增加耗材成本,半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)支持藍(lán)膜重復(fù)利用,能為企業(yè)節(jié)省開支。針對 6 /8寸小批量晶圓使用的藍(lán)膜,若膜層無破損、粘性未明顯下降,員工可手動(dòng)將藍(lán)膜從晶圓上剝離,用無塵布蘸取清潔劑擦拭表面污漬后,重新安裝到設(shè)備上二次使用,每片藍(lán)膜可重復(fù)利用 2-3 次;即使是 8 英寸晶圓使用的藍(lán)膜,若邊緣有輕微磨損,員工可手動(dòng)裁剪破損部分,剩余部分用于小規(guī)格晶圓,避免整體廢棄。設(shè)備支持手動(dòng)調(diào)整膜材長度,重復(fù)利用的藍(lán)膜長度不足時(shí),可手動(dòng)設(shè)定 shorter 貼膜長度,確保膜材充分利用,每批次可節(jié)省 20% 的藍(lán)膜用量,長期使用能降低耗材成本。
環(huán)保生產(chǎn)是當(dāng)前半導(dǎo)體行業(yè)的重要趨勢,半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)在材質(zhì)選擇與能耗控制上均符合環(huán)保要求。設(shè)備機(jī)身采用可回收的 304 不銹鋼,廢棄后可循環(huán)利用,避免塑料材質(zhì)造成的污染;表面涂層采用無 VOCs(揮發(fā)性有機(jī)化合物)的環(huán)保涂料,經(jīng)檢測 VOCs 排放量低于國家限值(100g/L),不會(huì)污染潔凈車間空氣。針對 UV 膜脫膠,設(shè)備采用低功率紫外線燈(100W),脫膠過程無有害氣體揮發(fā),符合國家 VOCs 排放標(biāo)準(zhǔn);同時(shí),設(shè)備能耗低,正常運(yùn)行時(shí)功率 200W,比同規(guī)格全自動(dòng)設(shè)備節(jié)能 40%,長期使用能減少企業(yè)碳排放,幫助企業(yè)實(shí)現(xiàn)綠色生產(chǎn)目標(biāo),符合客戶對環(huán)保供應(yīng)鏈的要求。在精密電子元件生產(chǎn)中,該貼膜機(jī)通過精確貼附保護(hù)元件表面,避免運(yùn)輸與加工過程刮擦損傷,提升產(chǎn)品合格率。

IC 芯片中試階段需在 “保證精度” 與 “控制成本” 間平衡,半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)的精細(xì)性與經(jīng)濟(jì)性恰好滿足這一需求。中試常用的 6/8 英寸 IC 晶圓,對貼膜殘留要求極高,設(shè)備支持的 UV 膜通過半自動(dòng)脫膠流程,人工輔助定位紫外線照射區(qū)域,確保脫膠無殘留,避免影響芯片電路性能。定位環(huán)節(jié),半自動(dòng)視覺系統(tǒng)可識別晶圓電路紋理,員工手動(dòng)微調(diào)晶環(huán)位置,使貼膜對齊精度達(dá) ±0.1mm,滿足中試階段的檢測與小批量生產(chǎn)要求。相較于全自動(dòng)設(shè)備,半自動(dòng)機(jī)型省去了自動(dòng)上料的機(jī)械臂模塊,采購成本更低,同時(shí)保留精度部件,中試完成后可直接用于后續(xù)小批量量產(chǎn),避免設(shè)備閑置浪費(fèi),為 IC 企業(yè)降低中試投入風(fēng)險(xiǎn)。面向化合物半導(dǎo)體加工,設(shè)備兼容藍(lán)膜與 UV 膜,貼附過程中不損傷材料表面涂層,保障產(chǎn)品性能穩(wěn)定。汕尾8寸晶圓貼膜機(jī)360度切膜
鴻遠(yuǎn)輝半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)覆蓋光學(xué)、LED、IC、移動(dòng)硬盤等多行業(yè),多規(guī)格、多膜材適配性強(qiáng)。汕尾8寸晶圓貼膜機(jī)360度切膜
半導(dǎo)體車間可能面臨低溫或高溫環(huán)境(如某些 LED 外延片車間溫度達(dá) 40℃),半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)的環(huán)境適應(yīng)性能確保穩(wěn)定運(yùn)行。設(shè)備采用寬溫設(shè)計(jì),在 - 10℃至 45℃的溫度范圍內(nèi),均可正常工作,無需額外配置空調(diào)或加熱設(shè)備;針對高溫環(huán)境,設(shè)備內(nèi)部配備散熱風(fēng)扇,可將內(nèi)部溫度控制在 50℃以下,避免 PLC、電機(jī)等部件因過熱停機(jī)。在低溫環(huán)境下,設(shè)備的貼膜滾輪采用耐低溫硅膠,不會(huì)因溫度過低導(dǎo)致硬度增加影響貼合效果;同時(shí),設(shè)備的操作界面配備低溫防凍膜,員工戴手套也能正常操作,無需擔(dān)心屏幕失靈,靈活適配不同溫度條件的車間,避免環(huán)境因素導(dǎo)致的生產(chǎn)中斷。汕尾8寸晶圓貼膜機(jī)360度切膜