涂膠顯影機的工作原理是什么？?

舉報

無錫凡華半導(dǎo)體科技有限公司2025-08-14

通過在高速旋轉(zhuǎn)的晶圓硅片上滴注光刻膠液，利用離心力使膠液均勻涂覆在硅片表面，形成緊密粘附且均勻分布的膠層。顯影時則是通過旋涂顯影液充分反應(yīng)后，再用超純水清洗干凈，把晶圓上曝光烘烤后的圖形顯影出來。?

本回答由 無錫凡華半導(dǎo)體科技有限公司 提供

無錫凡華半導(dǎo)體科技有限公司

簡介：無錫凡華半導(dǎo)體科技有限公司主營甩干機、涂膠顯影機、激光打標機，IPA干燥機，晶舟轉(zhuǎn)換器，花籃清洗機等

簡介：無錫凡華半導(dǎo)體科技有限公司主營甩干機、涂膠顯影機、激光打標機，IPA干燥機，晶舟轉(zhuǎn)換器，花籃清洗機等

類似問題

企業(yè)信息

無錫凡華半導(dǎo)體科技有限公司

聯(lián)系人：邵圣

手機： 13961806265

地址：

江蘇省無錫市宜興市宜興市萬石鎮(zhèn)工業(yè)集中區(qū)北區(qū)