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倍藍(lán)光電石英晶體膜厚儀怎樣監(jiān)控鍍膜過程?

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上海倍藍(lán)光電科技有限公司2025-09-14

倍藍(lán)石英晶體膜厚儀采用6MHz高精度傳感器,其質(zhì)量靈敏度為0.1ng/cm2,可實(shí)時(shí)顯示0.01nm的厚度變化。傳感器探頭耐高溫設(shè)計(jì),可直接安裝于鍍膜機(jī)真空室內(nèi),工作溫度范圍-50至150℃。倍藍(lán)特有的溫度-頻率復(fù)合補(bǔ)償技術(shù),消除了鍍膜過程中溫度波動(dòng)導(dǎo)致的測(cè)量誤差。在某光學(xué)鍍膜生產(chǎn)線應(yīng)用中,成功將膜厚均勻性控制精度提升至±0.8%。儀器標(biāo)配4通道監(jiān)測(cè)系統(tǒng),可同時(shí)跟蹤多個(gè)工位的鍍膜進(jìn)度,并通過Modbus協(xié)議與PLC系統(tǒng)實(shí)時(shí)通信。

上海倍藍(lán)光電科技有限公司
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簡(jiǎn)介:倍藍(lán)光電專注于光電領(lǐng)域儀器設(shè)備的定制開發(fā)、代理銷售與系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)包括儀器設(shè)備的維修和周邊產(chǎn)品的銷售
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