上海倍藍光電科技有限公司2025-10-16

倍藍光電主動隔振平臺采用電磁-氣浮復(fù)合技術(shù)，隔振下限0.7Hz，負載50–500kg可選，臺面平面度0.05mm，滿載變形<1μm，移動滾輪、拼接銷、快拆地腳一應(yīng)俱全，可現(xiàn)場級聯(lián)成3m以上光學(xué)長廊，半導(dǎo)體FIB、電子顯微鏡、激光干涉儀直接上架即可納米級穩(wěn)定工作。

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