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極測(cè)（南京）高精密環(huán)控設(shè)備潔凈度達(dá) ISO Class 1
極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司，其關(guān)鍵技術(shù)成果 —— 自主研發(fā)的高精密環(huán)境控制設(shè)備，已穩(wěn)定具備 ISO Class 1 級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn)，作為國(guó)內(nèi)掌握該級(jí)別潔凈環(huán)境控制技術(shù)的企業(yè)之一，為我國(guó)高duan制造領(lǐng)域關(guān)鍵設(shè)備的長(zhǎng)期環(huán)境保障提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。
ISO Class 1 級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn)是國(guó)際公認(rèn)的極高潔凈度等級(jí)，要求每立方米空氣中粒徑≥0.1μm 的微粒數(shù)不超過(guò) 10 個(gè)，對(duì)氣流控制、過(guò)濾精度、區(qū)域溫控等關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)提出嚴(yán)苛要求，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)等對(duì)環(huán)境潔凈度極為敏感的高duan裝備領(lǐng)域。極測(cè)（南京）通過(guò)多維度技術(shù)創(chuàng)新，保障了這一高標(biāo)準(zhǔn)的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
在氣流控制設(shè)計(jì)上，該系統(tǒng)采用垂直單向流架構(gòu)，確保潔凈氣流覆蓋控制區(qū)域；同時(shí)引入計(jì)算流體力學(xué)（CFD）氣流模擬仿真技術(shù)，通過(guò)精細(xì)化仿真優(yōu)化氣流分布路徑，有效規(guī)避傳統(tǒng)系統(tǒng)中易出現(xiàn)的渦流死角問題，從源頭減少微粒滯留風(fēng)險(xiǎn)，保障潔凈環(huán)境的均勻性與穩(wěn)定性。
針對(duì)高duan設(shè)備的個(gè)性化需求，極測(cè)（南京）進(jìn)一步在光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)等關(guān)鍵設(shè)備內(nèi)部，精zhun設(shè)置專屬關(guān)鍵溫控區(qū)。通過(guò)定制化溫控算法與高精度傳感技術(shù)聯(lián)動(dòng)，將關(guān)鍵區(qū)域的溫度控制精度提升至±2mK（±0.002℃），既滿足 ISO Class 1 級(jí)潔凈度要求，又為設(shè)備關(guān)鍵部件的穩(wěn)定運(yùn)行提供恒溫保障，解決了 “高潔凈” 與 “高精度控溫” 協(xié)同的行業(yè)難題。
據(jù)極測(cè)（南京）技術(shù)負(fù)責(zé)人介紹，公司高精密環(huán)境控制設(shè)備潔凈過(guò)濾系統(tǒng)長(zhǎng)期符合 ISO Class 1 級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn)，是企業(yè)在該領(lǐng)域多年技術(shù)積累的體現(xiàn)。該系統(tǒng)的應(yīng)用，為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體、微電子等高duan制造產(chǎn)業(yè)提供本土化的高潔凈環(huán)境解決方案，助力我國(guó)高duan裝備自主化進(jìn)程持續(xù)推進(jìn)。未來(lái)，公司將持續(xù)深化技術(shù)研發(fā)，為行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入新動(dòng)能。
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