渦輪式分子泵:具有較大的抽氣面積和抽速,適用于需要快速抽氣的場(chǎng)合。復(fù)合式分子泵:結(jié)合了牽引式和渦輪式的優(yōu)點(diǎn),具有更高的抽氣性能和穩(wěn)定性。三、應(yīng)用領(lǐng)域分子泵憑借其工作的穩(wěn)定可靠與分子流態(tài)下***的抽氣效率,已成為清潔高真空和超高真空領(lǐng)域獲取真空的關(guān)鍵設(shè)備,廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:分析領(lǐng)域:如質(zhì)譜分析、電子顯微鏡等,為高精度的物質(zhì)分析提供高真空環(huán)境,確保分析過程的準(zhǔn)確性與可靠性。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè):在電子組件、集成電路、柔性太陽(yáng)能電池等制造過程中,滿足其對(duì)高真空環(huán)境的嚴(yán)格要求,保障產(chǎn)品質(zhì)量與性能。滑動(dòng)軸承應(yīng)用場(chǎng)合一般在低速重載工況條件下,或者是維護(hù)保養(yǎng)及加注潤(rùn)滑油困難的運(yùn)轉(zhuǎn)部位。虹口區(qū)質(zhì)量分子泵軸承選擇

1、提高安裝質(zhì)量,減少軸承振動(dòng)。2、防止偏載和過載。3、采用適宜的巴氏合金以及新的軸承結(jié)構(gòu)。4、嚴(yán)格控制軸承溫升。拉毛由于潤(rùn)滑油把大顆粒的污垢帶入軸承間隙內(nèi),并嵌藏在軸承軸襯上,使軸承與軸頸(或止推盤)接觸時(shí),形成硬痂,在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)會(huì)嚴(yán)重地刮傷軸的表面,拉毛軸承注意油路潔凈,尤其是檢修中,應(yīng)注意將金屬屑或污物清洗干凈。磨損及刮傷由于潤(rùn)滑油中混有雜質(zhì)、異物及污垢。檢修方法不妥,安裝不對(duì)中。使用維護(hù)不當(dāng),質(zhì)量控制不嚴(yán)。閔行區(qū)購(gòu)買分子泵軸承廠家現(xiàn)貨軸承表面拉傷:鐵譜中發(fā)現(xiàn)有切削磨粒,磨粒成分為有色金屬。

二、設(shè)備分類分子泵按照不同的分類標(biāo)準(zhǔn),可以分為以下幾類:按軸承特性分類:油潤(rùn)滑分子泵:使用油潤(rùn)滑軸承,具有穩(wěn)定的旋轉(zhuǎn)性能和較長(zhǎng)的使用壽命。脂潤(rùn)滑分子泵:使用脂潤(rùn)滑軸承,適用于一些對(duì)油污染有嚴(yán)格要求的場(chǎng)合。磁懸浮分子泵:基于磁懸浮技術(shù),無需潤(rùn)滑,具有無摩擦、無磨損、低噪音等優(yōu)點(diǎn),具有較大的發(fā)展?jié)摿Α0崔D(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)分類:牽引式分子泵:其型線溝槽開在轉(zhuǎn)子圓柱外表面或泵體內(nèi)表面上,可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對(duì)氣體分子進(jìn)行動(dòng)量傳遞。
1958年,聯(lián)邦德國(guó)的W.貝克初次提出有適用價(jià)值的渦輪分子泵,以后相繼呈現(xiàn)了各種不同構(gòu)造的分子泵,主要有立式和臥式兩種。渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉(zhuǎn)子(即動(dòng)葉輪)、靜葉輪和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)等組成。動(dòng)葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動(dòng)的速度(普通為150~400米/秒)。單個(gè)葉輪的緊縮比很小,渦輪分子泵要由十多個(gè)動(dòng)葉輪和靜葉輪組成。動(dòng)葉輪和靜葉輪交替排列。動(dòng)、靜葉輪幾何尺寸根本相同,但葉片傾斜角相反。圖2為20個(gè)動(dòng)葉輪組成的整體式轉(zhuǎn)子。每?jī)蓚€(gè)動(dòng)葉輪之間裝一個(gè)靜葉輪。靜葉輪外緣用環(huán)固定并使動(dòng)、靜葉輪間堅(jiān)持1毫米左右的間隙,動(dòng)葉輪可在靜葉輪間自在旋轉(zhuǎn)。它們廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、材料科學(xué)、物理實(shí)驗(yàn)、真空鍍膜等領(lǐng)域。

在運(yùn)動(dòng)葉片兩側(cè)的氣體分子呈漫散射。在葉輪左側(cè),當(dāng)氣體分子抵達(dá)A點(diǎn)左近時(shí),在角度α1內(nèi)反射的氣體分子回到左側(cè);在角度β1內(nèi)反射的氣體分子一局部回到左側(cè),另一局部穿過葉片抵達(dá)右側(cè);在角度γ1內(nèi)反射的氣體分子將直接穿過葉片抵達(dá)右側(cè)。同理,在葉輪右側(cè)(圖3b),當(dāng)氣體分子入射到B點(diǎn)左近時(shí),在α2角度內(nèi)反射的氣體分子將返回右側(cè);在β2角度內(nèi)反射的氣體分子一局部抵達(dá)左側(cè),另一局部返回右側(cè);在γ2角度內(nèi)反射的氣體分子穿過葉片抵達(dá)左側(cè)。傾斜葉片的運(yùn)動(dòng)使氣體分子從左側(cè)穿過葉片抵達(dá)右側(cè),比從右側(cè)穿過葉片抵達(dá)左側(cè)的幾率大得多。葉輪連續(xù)旋轉(zhuǎn),氣體分子便不時(shí)地由左側(cè)流向右側(cè),從而產(chǎn)生抽氣作用而滑動(dòng)軸承摩擦力的大小主要取決于軸承滑動(dòng)面的材料。浦東新區(qū)購(gòu)買分子泵軸承選擇
滑動(dòng)軸承(sliding bearing),在滑動(dòng)摩擦下工作的軸承。虹口區(qū)質(zhì)量分子泵軸承選擇
損壞類型損壞原因及處理方法膠合軸承過熱、載荷過大,操作不當(dāng)或溫度控制系統(tǒng)失靈1、在運(yùn)動(dòng)中如發(fā)現(xiàn)軸承過熱,應(yīng)立即停車檢查,比較好使轉(zhuǎn)子在低速下繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),或繼續(xù)供油一段時(shí)間,直到軸瓦冷下來為止。不然,軸瓦上的巴氏合金由于膠合而粘在軸頸上,修起來麻煩。2、防止?jié)櫥筒蛔慊蛴椭谢烊腚s質(zhì),以及轉(zhuǎn)子安裝不對(duì)中。3、膠合損壞較輕的軸瓦可以用刮研修理方法消除,繼續(xù)使用。疲勞破裂由于不平衡引起的振動(dòng)、軸的撓曲與邊緣載荷、過載等,引起軸承巴氏合金疲勞破裂。軸承檢修安裝質(zhì)量不高虹口區(qū)質(zhì)量分子泵軸承選擇
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