UV 膜脫膠效率直接影響后續(xù)工序進(jìn)度,半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)的脫膠流程雖需少量人工輔助,但效率仍能滿足中小批量生產(chǎn)需求。設(shè)備的紫外線脫膠區(qū)可同時(shí)容納 5-8 片 6 英寸晶圓、3-5 片 8 英寸晶圓,員工手動(dòng)將貼膜后的晶圓放入脫膠區(qū),啟動(dòng)紫外線照射后,無需持續(xù)看管,設(shè)備會(huì)自動(dòng)計(jì)時(shí)(30 秒 / 片),計(jì)時(shí)結(jié)束后發(fā)出提示音;員工可利用等待時(shí)間準(zhǔn)備下一批晶圓的貼膜,實(shí)現(xiàn) “貼膜 - 脫膠” 并行作業(yè)。針對(duì) 12 英寸大尺寸晶圓,脫膠時(shí)間需延長(zhǎng)至 45 秒,設(shè)備支持手動(dòng)調(diào)整照射時(shí)間,確保脫膠徹底無殘留;同時(shí),紫外線燈使用壽命達(dá) 8000 小時(shí),是普通燈管的 1.5 倍,減少因燈管更換導(dǎo)致的脫膠中斷,保障工序銜接效率。集成電路板生產(chǎn)過程中,設(shè)備可實(shí)現(xiàn)精確貼膜,保護(hù)電路板表面線路不受損傷,并兼容雙類膜材,適配不同工藝?;葜莅雽?dǎo)體晶圓貼膜機(jī)標(biāo)準(zhǔn)劃片切膜

企業(yè)采購(gòu)設(shè)備時(shí),不僅要考慮前期購(gòu)機(jī)成本,還要考慮長(zhǎng)期使用的綜合成本(如耗材、人工、維護(hù))。這款晶圓貼膜機(jī)前期購(gòu)機(jī)成本雖與傳統(tǒng)設(shè)備相當(dāng),但長(zhǎng)期使用中,耗材方面,藍(lán)膜可重復(fù)利用、UV 膜用量精確,減少耗材支出;人工方面,操作簡(jiǎn)單、自動(dòng)化程度高,減少人工成本;維護(hù)方面,易損件壽命長(zhǎng)、維護(hù)費(fèi)用低,減少運(yùn)維支出。經(jīng)測(cè)算,企業(yè)使用該設(shè)備 3 年后,綜合成本比使用傳統(tǒng)設(shè)備低 20-30%,投資回報(bào)率更高。貼膜速度是影響半導(dǎo)體生產(chǎn)線效率的關(guān)鍵因素之一,若設(shè)備貼膜速度慢,會(huì)導(dǎo)致晶圓在貼膜工序積壓。這款晶圓貼膜機(jī)優(yōu)化了貼膜流程,6 英寸可達(dá) 35 片 / 小時(shí),8 英寸可達(dá) 30 片 / 小時(shí),12 英寸可達(dá) 25 片 / 小時(shí),遠(yuǎn)高于行業(yè)平均水平。設(shè)備支持 UV 膜與藍(lán)膜切換,不同膜類型的貼膜速度差異小,UV 膜脫膠速度也快,能有效減少晶圓在貼膜工序的積壓,確保生產(chǎn)線各工序節(jié)奏一致,提升整體生產(chǎn)效率。河南手動(dòng)晶圓貼膜機(jī)光學(xué)鏡頭 led IC半導(dǎo)體貼膜LED 行業(yè)加工必備,鴻遠(yuǎn)輝半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)適配 8-12Inch 晶環(huán)。

貼膜過程中產(chǎn)生氣泡會(huì)導(dǎo)致晶圓表面受力不均,后續(xù)切割時(shí)易出現(xiàn)碎裂,半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)通過 “人工輔助排氣 + 雙滾輪加壓” 有效減少氣泡。操作時(shí),員工在放置晶環(huán)后,可手動(dòng)將膜材預(yù)貼在晶圓邊緣,輕輕撫平排除部分空氣,再啟動(dòng)設(shè)備的雙滾輪加壓系統(tǒng),預(yù)壓滾輪先排除膜材中部空氣,主壓滾輪再緊密貼合,氣泡產(chǎn)生率低于 0.3%。針對(duì)不同膜類型,人工可調(diào)整排氣方式:UV 膜材質(zhì)較薄,需緩慢預(yù)貼避免褶皺;藍(lán)膜材質(zhì)較厚,可稍用力按壓邊緣排氣。處理 8 英寸以上大尺寸晶圓時(shí),員工可配合設(shè)備的分段加壓功能,從中心向邊緣逐步排氣,進(jìn)一步降低氣泡風(fēng)險(xiǎn),保障晶圓后續(xù)加工的穩(wěn)定性。
環(huán)保生產(chǎn)是當(dāng)前半導(dǎo)體行業(yè)的重要趨勢(shì),半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)在材質(zhì)選擇與能耗控制上均符合環(huán)保要求。設(shè)備機(jī)身采用可回收的 304 不銹鋼,廢棄后可循環(huán)利用,避免塑料材質(zhì)造成的污染;表面涂層采用無 VOCs(揮發(fā)性有機(jī)化合物)的環(huán)保涂料,經(jīng)檢測(cè) VOCs 排放量低于國(guó)家限值(100g/L),不會(huì)污染潔凈車間空氣。針對(duì) UV 膜脫膠,設(shè)備采用低功率紫外線燈(100W),脫膠過程無有害氣體揮發(fā),符合國(guó)家 VOCs 排放標(biāo)準(zhǔn);同時(shí),設(shè)備能耗低,正常運(yùn)行時(shí)功率 200W,比同規(guī)格全自動(dòng)設(shè)備節(jié)能 40%,長(zhǎng)期使用能減少企業(yè)碳排放,幫助企業(yè)實(shí)現(xiàn)綠色生產(chǎn)目標(biāo),符合客戶對(duì)環(huán)保供應(yīng)鏈的要求。IC 與集成電路板加工通用,這款半自動(dòng)貼膜機(jī)支持雙類膜材切換,操作流程統(tǒng)一,提升生產(chǎn)效率。

即使是半自動(dòng)設(shè)備,企業(yè)也關(guān)注貼膜一致性(避免因操作差異導(dǎo)致的質(zhì)量波動(dòng)),半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)通過 “參數(shù)鎖定 + 人工規(guī)范” 實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)。設(shè)備支持參數(shù)存儲(chǔ)功能,針對(duì)常用的晶環(huán)尺寸(如 6 英寸 UV 膜、8 英寸藍(lán)膜),可預(yù)設(shè)貼膜壓力、速度、溫度參數(shù),鎖定后員工無法隨意修改,確保不同批次、不同員工操作時(shí)參數(shù)一致;同時(shí),設(shè)備配備操作指引燈,如 “上料完成 - 綠燈亮”“貼膜中 - 黃燈亮”,規(guī)范員工操作步驟,減少人為疏忽導(dǎo)致的差異。針對(duì) 12 英寸大尺寸晶圓,設(shè)備采用雙滾輪同步加壓,人工只需確保晶環(huán)放置平整,滾輪壓力由設(shè)備自動(dòng)保持均勻,避免因手動(dòng)加壓不均導(dǎo)致的貼膜厚度差異,使同批次晶圓的貼膜一致性誤差低于 1%。針對(duì) 8-12Inch 大尺寸晶環(huán),這款貼膜機(jī)可實(shí)現(xiàn)均勻貼附,膜材張力可控,避免晶環(huán)邊緣起翹,保障貼附穩(wěn)定性。上海uv晶圓貼膜機(jī)貼膜無毛邊無氣泡
部件易拆卸、易更換,后期維護(hù)流程簡(jiǎn)單,維護(hù)成本低,減少設(shè)備停機(jī)檢修時(shí)間?;葜莅雽?dǎo)體晶圓貼膜機(jī)標(biāo)準(zhǔn)劃片切膜
晶圓貼膜后通常需進(jìn)入切割工序,若貼膜與切割的銜接不順暢,會(huì)增加晶圓搬運(yùn)次數(shù),增加損傷風(fēng)險(xiǎn)。這款晶圓貼膜機(jī)的輸出端可與切割設(shè)備的輸入端直接對(duì)接,貼膜后的晶圓通過輸送帶直接進(jìn)入切割工序,無需人工搬運(yùn)。設(shè)備適用 6-12 英寸晶環(huán),切割設(shè)備支持的晶環(huán)尺寸與該設(shè)備一致,貼膜參數(shù)(如膜層厚度、粘性)與切割工藝匹配,無需額外調(diào)整,實(shí)現(xiàn)貼膜與切割的無縫銜接,減少晶圓搬運(yùn)損傷,提升切割效率。部分半導(dǎo)體晶圓(如 LED 外延片、功率半導(dǎo)體晶圓)需要長(zhǎng)期暫存(1-3 個(gè)月),傳統(tǒng)保護(hù)膜在長(zhǎng)期暫存中易出現(xiàn)粘性下降、膜層老化,影響保護(hù)效果。這款晶圓貼膜機(jī)支持的藍(lán)膜具備長(zhǎng)期保護(hù)特性,在常溫常濕環(huán)境下,貼合晶圓后可穩(wěn)定保護(hù) 3 個(gè)月以上,粘性無明顯下降、膜層無老化現(xiàn)象;同時(shí),藍(lán)膜具備良好的防潮性,能隔絕空氣與水分,避免晶圓在暫存中氧化。設(shè)備適用 6-12 英寸晶環(huán),不同尺寸晶圓的長(zhǎng)期暫存保護(hù)都能滿足,幫助企業(yè)解決長(zhǎng)期暫存的晶圓保護(hù)問題?;葜莅雽?dǎo)體晶圓貼膜機(jī)標(biāo)準(zhǔn)劃片切膜